Les équipements regroupés au sein de la salle blanche de l'Institut d'Alembert permettent la réalisation de circuits de tailles micrométriques et nanométriques pour des applications  biologiques, médicales, en optoélectronique et/ou en microfluidique.

Cette plateforme est un outil au service des membres de l'Institut, ou collaborateurs au sein de l'Université Paris-Saclay, travaillant aux interfaces physique, biologie, chimie et sciences de l'ingénieur. Les technologies développées s'appuient sur une forte compétence autour des composants à base de polymères.  Les projets s'appuyant sur l'utilisation de la plateforme adressent des problématiques de (bio)détection et développent des capteurs biologiques ou chimiques.

Couches minces, photolithographie, gravure et métrologie

La plateforme est constituée d'équipements permettant le dépôt de couches minces, la photolithographie, la gravure et la métrologie. Les dispositifs développés peuvent être caractérisés sur la plateforme caractérisation des matériaux de l'institut.

Salle blanche

La salle blanche est dotée d'une surface de 100 m² , est de classe 10 000.

On peut distinguer trois principales étapes dans la réalisation de composants qui nécessitent des équipements spécifiques tous disponibles au sein de la plateforme :

• Le dépôt de couches minces par les méthodes de spin-coating, de dip-coating et d'évaporation et pulvérisation (PVD).
  

• La structuration de couches minces par photolithographie, gravure humide et gravure sèche, nanoimprint.
  

• La métrologie par profilométrie et microscopie.

L' ingénieure responsable de la salle blanche apporte un soutien technique aux utilisateurs et assure leur formation sur les équipements disponibles en fonction des besoins du projet scientifique.

La salle blanche de l'Institut d'Alembert appartient au réseau Renatech+ (depuis fin 2016)

Projets IDA

Les équipements de la salle blanche contribuent à la réalisation de projets portés par l'Institut, groupant les compétences des quatre unités constituantes de l'IDA (PPSM, LBPA, LUMIN, SATIE), associées aux compétences des laboratoires collabortateurs de l'Université Paris-Saclay.